真空电源

离子源电源

等离子抛光电源

中频交换磁控溅射电源

> SSDH系列中频交换磁控溅射电源

> SST系列中频交换磁控溅射电源

> SSTH系列中频交换磁控溅射电源

直流磁控溅射电源

> SS III系列直流磁控溅射电源

> SS II 系列直流磁控溅射电源

气体流量掌握电源

> FLOW-1N4系列气体流量掌握电源

偏压电源

> SBD-I系列偏压电源

> BOMB VS 系列偏压电源

> BOMB IV系列偏压电源

> BOMB-IIIS系列偏压电源

弧电源

> SAZ系列弧电源

> SALN系列弧电源

> SAHN系列弧电源

外面处置惩罚

PVD涂层

等离子抛光